摘要: 碳化硅晶圆，又称SiC单晶，是一种在半导体行业中广泛应用的材料。SiC碳化硅晶圆具有优异的物理性质，如高硬度、高热导率和高耐高温性能。这些特性使得碳化硅晶圆成为制造高性能功率电子器件的理想材料之一。SiC碳化硅在碳化硅衬底上生长形成SiC单晶，可以提高晶体质量和器件性能。碳化硅晶圆广泛应用于高频功率器件、光电器件和射频器件等领域。在半导体工业中，碳化硅晶圆的......